來源：學(xué)術(shù)之家整理 2025-03-18 15:38:50
《Journal Of Micro-nanolithography Mems And Moems》中文名稱：《微納光刻技術(shù)雜志》，創(chuàng)刊于2007年，由SPIE出版商出版，出版周期Quarterly。
《微/納米光刻、MEMS 和 MOEMS 雜志》（JM3）發(fā)表同行評審的論文，內(nèi)容涉及光刻、制造、封裝和集成技術(shù)的科學(xué)、開發(fā)和實踐，這些技術(shù)對于滿足電子、微機(jī)電系統(tǒng)、微光機(jī)電系統(tǒng)和光子學(xué)行業(yè)的需求必不可少。
旨在及時、準(zhǔn)確、全面地報道國內(nèi)外ENGINEERING, ELECTRICAL & ELECTRONIC工作者在該領(lǐng)域的科學(xué)研究等工作中取得的經(jīng)驗、科研成果、技術(shù)革新、學(xué)術(shù)動態(tài)等。
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